芯片万级洁净车间装修工程构成部分和系统解说

2021-01-09 14:27 昆山九游会服务净化系统工程有限公司

芯片万级洁净车间装修工程构成部分和系统解说

无尘室的等级分类各有不同， 在设计施工中可根据实际需要来操作。 九游会服务净化解析万级无尘室的系统构成。

万级无尘室隔间分为三大部分： 更衣室、 千级区和百级区。 更衣室与千级区， 千级区和百级区均设风淋室(airshower) ， 芯片净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox) 。 当人员进入无尘室时， 首先要经过风淋室， 对人体所带的灰尘吹淋， 减少人员带入无尘室的灰尘， 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋，达到落尘的效果，风系统、 水系统、 控制系统和其他系统

1、 风系统

系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统.

（1） 全新风空调箱结构

（2） FFU: (FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器千级区过滤器采用 HEPA， 过滤效率99. 997%, ， 百级区过滤器采用 ULPA， 过滤效率99. 9995%

2、 水系统

冰水系统分为一次侧和二次侧。

一次侧冰水水温7-12度, 供给空调箱和风机盘管, 二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.

一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路, 之间由板式换热器连接.

板式换热器原理(现场画图) .

干盘管: 不结露的盘管， 因无尘室温度在22度， 其露点温度12度左右， 故7度冰水不能直接进入无尘室， 所以进干盘管的冰水温度在12-14度。

3、 控制系统(DDC)

温度： 干盘管系统控制

湿度: 空调箱调节通过感测的信号， 控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量

正压： 空调箱调节, 根据静压感测的信号， 自动调节空调箱马达变频器的频率， 从而调节进入室内的新风量.

4、 其他系统

不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空， 空压， 纯水， 废水， 二氧化碳系统， 制程排气系统。

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